紫外帶寬膜
紫外帶寬膜應(yīng)用于半導(dǎo)體裝備，如光刻機(jī)、晶圓缺陷檢測設(shè)備等，典型應(yīng)用波長為193nm，248nm，266nm，355nm，這些波長應(yīng)用需要將膜層材料的吸收控制在理論極限水平，且所需膜系種類繁雜，對(duì)鍍膜設(shè)備及工藝能力提出更高挑戰(zhàn)。
所屬分類：
思騰產(chǎn)品
關(guān)鍵詞：
產(chǎn)品描述
寬帶260-520nm
紫外帶寬膜應(yīng)用于半導(dǎo)體裝備，如光刻機(jī)、晶圓缺陷檢測設(shè)備等，典型應(yīng)用波長為193nm，248nm，266nm，355nm，這些波長應(yīng)用需要將膜層材料的吸收控制在理論極限水平，且所需膜系種類繁雜，對(duì)鍍膜設(shè)備及工藝能力提出更高挑戰(zhàn)。
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公司占地面積約18000平米，擁有標(biāo)準(zhǔn)無塵廠房3800平米。主品主要檢測設(shè)備由美國引進(jìn)，用于晶片加工設(shè)備主要通過自主開發(fā)，或合作開發(fā)制造。融入了萬士和獨(dú)特工藝技術(shù)，保證了產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。公司建立了IS9001質(zhì)量體系標(biāo)準(zhǔn)化體系，檢測手段齊全，采用國際檢測標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行產(chǎn)品檢驗(yàn)。
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